丸善石油化学株式会社
革新的な光インプリント用樹脂組成物とその活用方法
丸善石油化学株式会社
革新的な光インプリント用樹脂組成物とその活用方法
本特許は、光硬化性モノマー(A)と交硬化性モノマー(B)を含む光インプリント用樹脂組成物を提供します。この樹脂組成物は、独自の化学構造を持つ化合物を活用しており、塗布、パターン形成、硬化、剥離といった一連の工程を経て微細構造体を製造することができます。また、硬化させた樹脂をマスクとして基材をエッチングする工程も含まれています。この組成物は、膜厚が10nmから40μmの硬化物からなる光インプリント用樹脂薄膜を得ることが可能で、精密なパターン形成や微細構造体の製造に大いに貢献します。
つまりは、独自の化学構造を持つ光硬化性モノマーと交硬化性モノマーを含む光インプリント用樹脂組成物。
AIによる特許活用案
おすすめ業界 半導体産業ナノテクノロジー化学工業
- ナノスケールのパターン形成
- 精密な微細構造体の製造
- 高解像度の光インプリント用樹脂薄膜の製造
光インプリント技術を利用して、ナノスケールのパターンを形成することが可能です。これは、半導体デバイスやマイクロ電子機器の製造において極めて有用な技術といえます。
本特許の樹脂組成物を使用することで、精密な微細構造体を効率的に製造することが可能です。これは、医療機器やバイオテクノロジーの分野での利用が期待されます。
本特許の樹脂組成物を用いることで、高解像度の光インプリント用樹脂薄膜を製造することができます。これは、次世代のディスプレイや光学デバイスの製造に役立つと考えられます。
活用条件
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
商品化・サービス化 実証実験 サンプル・プロトタイプ
特許評価書
- 権利概要
| 出願番号 | 特願2012-552640 |
| 発明の名称 | 光インプリント用樹脂組成物、パターン形成方法及びエッチングマスク |
| 出願人/権利者 | 丸善石油化学株式会社 |
| 公開番号 | WO2012/096071 |
| 登録番号 | 特許第0005890323号 |
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
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