国立研究開発法人産業技術総合研究所
超微小リーク試験の新基準：信頼性の高いリーク検出装置
国立研究開発法人産業技術総合研究所
超微小リーク試験の新基準：信頼性の高いリーク検出装置
この特許では、信頼性の高いリーク試験装置を提供します。この装置は、参照リーク発生装置を使用して、10パム以下の参照リークを生成することが可能です。また、分子流コンダクタンスCと分子流が実現する圧力条件が既知のオリフィスまたは多孔質体を介して、そのリークを測定室へ導入します。この装置は、校正手段を備えており、高い信頼性を持つことが特徴です。特に、MEMSパッケージ、水晶振動子、各種半導体パッケージ、赤外線センサーパッケージ等の超微小リーク試験に有用であり、非常に微小なリーク量の試験が要求される状況に適しています。
つまりは、本発明は、非常に微小なリーク量の試験が要求される状況に対応するための新たなリーク試験装置について述べています。
AIによる特許活用案
おすすめ業界 半導体製造業センサー製造業MEMS製造業
- 高精度リーク検査装置の製造
- リーク試験サービスの提供
- 既存装置のアップグレード
本発明を活用して、非常に微小なリークを検出できる高精度リーク検査装置を製造することができます。これにより、リーク試験が厳しい要求を満たす必要がある製品の検査で有利となります。
本発明を基にした装置を用いて、他の企業や研究機関に対して高精度のリーク試験サービスを提供することが可能です。これにより、高い信頼性を求めるクライアントに対して価値を提供することができます。
既存のリーク試験装置に本発明の参照リーク発生装置を組み込むことで、装置の精度を向上させることが可能です。これにより、より高い信頼性を求める市場への対応が可能となります。
活用条件
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
商品化・サービス化 実証実験 サンプル・プロトタイプ
特許評価書
- 権利概要
| 出願番号 | 特願2014-548520 |
| 発明の名称 | 参照リーク発生装置およびそれを用いた超微小リーク試験装置 |
| 出願人/権利者 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 公開番号 | WO2014/080798 |
| 登録番号 | 特許第0006091017号 |
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
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