国立研究開発法人物質・材料研究機構
高効率・安定した電子放出技術
国立研究開発法人物質・材料研究機構
高効率・安定した電子放出技術
本発明は、炭化ハフニウム単結晶からなるナノワイヤを使用したエミッタ、それを用いた電子銃、電子機器及びその製造方法に関するものです。エミッタはナノワイヤを用い、このナノワイヤは炭化ハフニウム単結晶から構成されています。エミッタの先端部分は電子を放出するため、その部分は酸化ハフニウムで被覆されており、その厚さは1nm以上5nm以下です。ナノワイヤの長手方向の長さは5μm以上30μm以下であり、ナノワイヤの長手方向は炭化ハフニウム単結晶の結晶方向に一致しています。本発明により、エミッタからの電子放出の安定性と効率が大幅に向上します。
つまりは、電子銃、電子機器の製造方法を改善する炭化ハフニウム単結晶ナノワイヤの活用
AIによる特許活用案
おすすめ業界 電子機器製造業ナノテクノロジー半導体製造業
- 高効率な電子顕微鏡の製造
- 高性能な電子機器の開発
- 高効率な電子ビーム応用技術の開発
本発明のエミッタを用いることで、電子顕微鏡の電子源として使用できます。電界放出型やショットキー電子銃などに利用することで、高分解能かつ高輝度な観察画像を得ることが可能となります。
本発明は、走査型電子顕微鏡や透過型電子顕微鏡などの高性能な電子機器の開発において有用です。特に、電子源としての安定性と効率が求められる機器においてはその効果を発揮します。
本発明のエミッタを電子ビーム生成装置に応用することで、より高効率な電子ビームを生成する技術を開発することが可能となります。これにより、電子ビームを活用した医療や産業分野の様々な技術に対する貢献が期待できます。
活用条件
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
商品化・サービス化 実証実験 サンプル・プロトタイプ
特許評価書
- 権利概要
| 出願番号 | 特願2017-503461 |
| 発明の名称 | エミッタの製造方法 |
| 出願人/権利者 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 |
| 公開番号 | WO2016/140177 |
| 登録番号 | 特許第0006459135号 |
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
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