国立研究開発法人産業技術総合研究所
革新的な湾曲加工技術で新次元の光導波路を実現
国立研究開発法人産業技術総合研究所
革新的な湾曲加工技術で新次元の光導波路を実現
本特許は、基板上に支持層形成用出発層と光導波路形成用出発層を積層し、これをパターン化して光導波路を形成する工程から始まります。次に、光導波路の上に直接もしくは制御層支持層を介して、光導波路の片持ち梁構造の曲がり始める位置を決定する位置制御層を形成します。これは異方性エッチングにより行われ、その後で光導波路に先端自由端を有する片持ち梁構造を形成します。そして、位置制御層をマスクとして片持ち梁構造の一部にイオンを照射し、片持ち梁構造の一部を湾曲させて垂直光カプラとする工程を含みます。この湾曲加工方法を使用することで、高性能な光導波路デバイスの製造が可能となります。
つまりは、異方性エッチングによる光導波路の湾曲加工方法で、高性能な光デバイスを作成します。
AIによる特許活用案
おすすめ業界 デバイス製造業光通信業半導体業界
- 高性能な光通信デバイスの製造
- 光集積回路の開発
- 先端医療機器の開発
本特許の湾曲加工技術を利用すれば、高度な光導波路の形状制御が可能となり、これにより通信速度や伝送距離を大幅に向上させることができる高性能な光通信デバイスを製造することができます。
本特許は光導波路の湾曲加工方法に関するものであり、この技術を応用して光集積回路を開発することが可能です。これにより、電力消費を抑えつつ大量のデータを高速に処理することが可能なデバイスを作成できます。
本特許の湾曲加工技術を応用すれば、光を利用した精密な医療機器の開発も可能となります。例えば、高精度なレーザー手術装置や診断装置など、先端医療分野での応用が期待できます。
活用条件
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
商品化・サービス化 実証実験 サンプル・プロトタイプ
特許評価書
- 権利概要
| 出願番号 | 特願2018-501107 |
| 発明の名称 | 薄膜部材の湾曲加工方法 |
| 出願人/権利者 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 公開番号 | WO2017/145706 |
| 登録番号 | 特許第0006741921号 |
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
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