国立大学法人東京工業大学
革新的な製造技術で大面積化が可能な双極型静電チャックモジュール
国立大学法人東京工業大学
革新的な製造技術で大面積化が可能な双極型静電チャックモジュール
本特許は、導電性材料と絶縁性材料を用いて、3Dプリンターで製造される双極型静電チャックモジュールの製造方法を提供しています。このモジュールは、正極と負極間に絶縁体を配置することで、物体を吸着または脱離する能力を持つ静電チャックの機能を有します。さらに、3Dプリンターが熱溶解積層法であること、導電性材料が導電性樹脂フィラメントであることが特徴です。この技術により、吸着面に微細毛構造を有し、大面積化を可能にする静電チャックモジュールを効率的に製造することが可能となります。
つまりは、3Dプリンターを用いた導電性と絶縁性材料の組み合わせで製造される双極型静電チャックモジュール
AIによる特許活用案
おすすめ業界 半導体製造業精密機器製造業マイクロファブリケーション業界
- 静電チャックの大面積化による生産効率向上
- 静電チャックの応用範囲拡大への寄与
- 静電チャックの製造コスト削減
大面積の静電チャックモジュールを製造することで、一度に多くの物体を吸着、脱離することが可能となり、生産効率を向上させることができます。また、微細毛構造を有する吸着面は、表面形状を有する物体に対しても強力な吸着力を発揮します。
導電性樹脂フィラメントを用いることで、静電チャックの応用範囲を拡大することが可能です。絶縁性材料との組み合わせにより、さまざまな物体に対して静電力を利用した吸着、脱離作業が可能となります。
3Dプリンターを用いることで、製造プロセスが簡素化され、製造コストを削減することが可能となります。熱溶解積層法を用いることで、導電性と絶縁性材料を正確に配置し、一体成形することが可能です。
活用条件
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
商品化・サービス化 実証実験 サンプル・プロトタイプ
特許評価書
- 権利概要
| 出願番号 | 特願2018-503354 |
| 発明の名称 | 双極型静電チャックモジュールおよびその製造方法 |
| 出願人/権利者 | 国立大学法人東京工業大学 |
| 公開番号 | WO2017/150574 |
| 登録番号 | 特許第0006846821号 |
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- ライセンス
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