東京応化工業株式会社
革新的な基板搬送装置で生産性を飛躍的に向上
東京応化工業株式会社
革新的な基板搬送装置で生産性を飛躍的に向上
本発明の基板搬送装置は、組み込みの調整時間を短縮し、効率的な基板の搬送と処理を可能にします。シャフトの取り付け精度を要求する基板に対する処理品質を確保することが可能で、その結果、製造時間とコストを大幅に削減することができます。搬送ローラの組み立て性を考慮に入れ、連結部材が径方向の位置ズレを許容することで、組み立て時の調整時間を短縮することが可能です。また、基板の搬送方向におけるローラの配置を工夫することで、搬送効率と処理品質を向上させることが可能です。特に、基板の搬送と処理における問題を解決するための優れた手段を提供します。
つまりは、本発明は、基板の取り扱いを改善し、製造工程を効率化する基板搬送装置と基板処理装置に関する。
AIによる特許活用案
おすすめ業界 半導体製造業電子部品製造業LCDパネル製造業
- 生産ラインの効率化
- 製造コストの削減
- 品質向上
本装置の導入により、搬送ローラの組み立て性が向上し、組み立て時の調整時間が短縮されることで基板の生産ラインの効率が向上します。
搬送ローラの各々について1本ずつ水平出しを行う必要がなくなるため、調整時間を大幅に削減し、製造コストを低減することが可能です。
本装置の特殊なローラ配置により、基板の搬送方向におけるローラの位置が最適化され、基板の処理品質が向上します。
活用条件
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
商品化・サービス化 実証実験 サンプル・プロトタイプ
特許評価書
- 権利概要
| 出願番号 | 特願2011-252456 |
| 発明の名称 | 基板搬送装置及び基板処理装置 |
| 出願人/権利者 | 東京応化工業株式会社 |
| 公開番号 | 特開2013-110195 |
| 登録番号 | 特許第0005923281号 |
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
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