大陽日酸株式会社
成膜装置のクリーニング終了を正確に検知！
大陽日酸株式会社
成膜装置のクリーニング終了を正確に検知！
本特許は、成膜装置を構成する部材に付着した堆積物のクリーニング終点を高精度に検知する方法について述べています。具体的には、真空状態のチャンバ内でクリーニングガスとしてフッ素系ガスを供給開始し、その排ガスの圧力を連続的に測定します。さらに、排ガスに含まれるフッ素ガスの吸光度を連続的に測定し、これに基づいてフッ素ガスの濃度を取得します。この濃度と圧力に基づき、クリーニングの終点を検知します。終点検知後は、フッ素系ガスの供給を停止します。この方法により、クリーニングの終点検知の精度を向上させ、成膜装置を構成する部材の損傷を抑制することが可能となります。
つまりは、高精度のクリーニング終点検知方法を利用したフッ素系ガス供給装置
AIによる特許活用案
おすすめ業界 半導体製造業電子機器製造業化学工業
- 半導体製造プロセスの効率向上
- 電子機器製造における品質向上
- 化学工業における装置運用の最適化
この特許技術を半導体製造に応用することで、薄膜成長装置のクリーニング終了を正確に判定し、製造プロセスの効率と品質を向上させることが可能となります。また、装置の早期劣化を防止し、長期的な運用コストを削減することも期待できます。
電子機器の製造では、成膜装置のクリーニング工程が重要です。この技術を導入することで、クリーニング工程の精度を向上させ、製品の品質を一貫して保つことが可能となります。
化学工業でも成膜装置は頻繁に使用されます。クリーニング終了の正確な判定により、装置の運用を最適化し、稼働率を向上させることができます。これにより、生産性の向上と生産コストの削減が可能となります。
活用条件
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
商品化・サービス化 実証実験 サンプル・プロトタイプ
特許評価書
- 権利概要
| 出願番号 | 特願2012-193268 |
| 発明の名称 | クリーニング終点検知方法 |
| 出願人/権利者 | 大陽日酸株式会社 |
| 公開番号 | 特開2014-049684 |
| 登録番号 | 特許第0005973850号 |
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