国立大学法人豊橋技術科学大学
革新的なセラミックス膜の形成技術
国立大学法人豊橋技術科学大学
革新的なセラミックス膜の形成技術
本特許は、新たな成膜法として注目を集めているエアロゾルデポジション法（AD法）を用いたセラミックス膜の形成技術に関するものです。セラミックス組成物のマトリックス中に微小固体が均一に分布する構造を特徴とします。さらに、この微小固体は、鍋ドープ酸化インジウムであり、前記微小固体の割合が8体積%以上で、面抵抗率が10^0Q0プcmぞそ以下の導電性を有します。このような特性により、特に噴射によって基板上に堆積させて成膜するために用いられる成膜用原料粉体において、高速で成膜でき、原料の性質が保持され易いという大きな利点があります。また、膜厚3ヵpmにおいて、400nm一800nmの光を7 0%以上透過させ、100nm一2500nmの近赤外領域の光を9 0%以上吸収することも特徴としています。
つまりは、セラミックス膜の形成における新たな方法であるエアロゾルデポジション法を活用した特許技術
AIによる特許活用案
おすすめ業界 電子部品製造業セラミックス業界薄膜技術業界
- 高品質な電子部品の製造
- エネルギー効率の高い太陽電池の開発
- 高性能なセンサーの開発
高品質なセラミックス膜を効率的に形成できる本技術は、電子部品の製造に適しています。膜の品質を向上させながら生産性を維持したい製造業者にとって、価値ある選択肢となります。
本特許の技術は、太陽電池の開発にも活用が可能です。特に、400nm一800nmの光を7 0%以上透過させ、100nm一2500nmの近赤外領域の光を9 0%以上吸収する特性は、太陽光の効率的な利用に寄与します。
本技術を活用することで、より高性能なセンサーの開発が可能になります。微小固体の均一な分布と高い導電性を活かし、高精度で迅速な検出が可能なセンサーを製造することができます。
活用条件
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
商品化・サービス化 実証実験 サンプル・プロトタイプ
特許評価書
- 権利概要
| 出願番号 | 特願2014-247475 |
| 発明の名称 | 成膜用原料粉体およびセラミックス膜 |
| 出願人/権利者 | 国立大学法人豊橋技術科学大学 |
| 公開番号 | 特開2016-108618 |
| 登録番号 | 特許第0006411878号 |
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
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